01СТМ
Туннельная микроскопия
Исследование проводящих поверхностей по туннельному току между зондом и образцом. Наблюдения вплоть до атомной структуры.
+7 (495) 003-13-43metrology@z-proton.ru
АО «Завод ПРОТОН» · зондовая микроскопия
Сканирующий микроскоп
СММ-2000
Трёхмерная топография и исследование свойств поверхности с нанометровым пространственным разрешением — без вакуумирования образца.
Российское производствоАСМ и СТМВстроенная виброизоляцияСтандартные кантилеверыНаука и образование
Тип СИ был зарегистрирован в ГосреестреРегистрационный №46918-11 · Документы об утверждении типа ↗
Поле сканирования по X / Yдо 40 мкм
Диапазон высот по Zдо 4 мкм
Основные режимыСТМ, АСМ
От рельефа к свойствам материала
Три основных режима исследования
СММ-2000 объединяет сканирующую туннельную и атомно-силовую микроскопию. Дополнительные методики позволяют регистрировать физические характеристики поверхности.
02АСМ
Контактная микроскопия
Получение топографии путём прохода острого зонда по рельефу, без требования к электропроводности образца.
03АСМ
Полуконтактная микроскопия
Исследование рельефа мягких образцов колеблющимся зондом слабыми касаниями.
Поверхность в деталях
От атомной структуры
до микрорельефа
Трёхмерное представление поверхности и анализ шероховатости — по результатам зондового сканирования.
Измерения и численный анализ
Измерение размеров и высот объектов, построение сечений, расчёт параметров шероховатости, фрактальный, морфологический, гранулометрический и Фурье-анализы.
Атомы пиролитического графита
Кадр 8 × 8 нм снят без вакуумирования.
Микрорельеф шлифа стали
Кадр 10 × 10 мкм, шероховатость Ra = 0,007 мкм.
Атомы кремния
Изображение получено при гелиевых температурах в сверхвысоком вакууме.
Метрология
Измерения по трём осям
Характеристики приведены по описанию типа системы измерения для зарегистрированного исполнения СММ-2000.
| Диапазон измерений X и Y, не менее | 0,0003–20 мкм |
|---|---|
| Диапазон измерений Z, не менее | 0,0002–2 мкм |
| Допускаемая погрешность линейных размеров | 10 нм ± 10 % измеряемого размера |
| Размер образца в стандартном держателе, не более | 30 × 30 × 15 мм |
| Масса образца, не более | 200 г |
| Размер измерительной головки, не более | 200 × 120 × 80 мм |
| Масса измерительной головки, не более | 3 кг |
| Питание | 200–240 В |
| Потребляемая мощность без компьютера, не более | 3 В·А |
Что входит в комплект поставки
01Измерительная головка
02Блок управления
03Блок питания
04Интерфейсная плата
05Соединительные кабели
06ПО управления и обработки данных
07Мера «Кварц-XY1400/Z90 нм»
08Набор ЗИП
09Паспорт и методика поверки
Комплектность приведена по описанию типа. Компьютер в указанный комплект не входит; окончательный состав поставки согласуется в коммерческом предложении.
Наука, производство, обучение
Инструмент для исследовательских задач
Материаловедение
Анализ рельефа, шероховатости, размеров зёрен и изменений поверхности после обработки. Возможность внедрения в камеры атомных и термоядерных реакторов, работы в вакууме, при низких и высоких температурах.
Образование
Обучение зондовой микроскопии проводится более чем в 50 вузах России и за рубежом, а также более чем в 20 центрах для одарённых детей по программе ОЦ «Сириус».
Исследования в космосе
Космическая модификация СММ-2000С использована на спутнике «Нанозонд-1» для изучения изменений поверхности под воздействием космической среды.
Научная публикация ↓НАНОИНДУСТРИЯ · 2025 · том 18 · №2
Первичный анализ снимков с первого в мире космического зондового микроскопа «СММ-2000С» в спутнике Земли «Нанозонд-1»
Б. А. Логинов, В. А. Беспалов и соавторы.
С. 88–102 · DOI: 10.22184/1993-8578.2025.18.2.88.102НАНОИНДУСТРИЯ · 2025 · том 18 · №5
Исследование механизмов образования пыли в космическом пространстве
Б. А. Логинов, В. А. Беспалов и соавторы.
С. 248–252 · DOI: 10.22184/1993-8578.2025.18.5.248.252Под вашу задачу
Подберём конфигурацию СММ-2000
Расскажите о материале образца, нужных режимах и диапазоне измерений. Специалисты помогут определить состав системы и подготовят предложение.
Документация
Технические документы
Описания типа и свидетельства об утверждении типа микроскопа СММ-2000 и рельефной меры «Кварц».